光学位移传感器以及光学位移测量设备

摘要

本发明的目的之一是提供能够提高对待测目标存在与否的检测精确度的光学位移传感器和光学位移测量设备。一种光学位移传感器包括：光投射单元，其用于把光投射到待测目标；光接收单元，其包括两个或多个排列成线形的光接收装置，用于接收前述的投射光L1被待测目标反射的光，并且输出与接收光量相对应的信号；接收光点检测装置，其用于根据各个光接收装置的输出来检测光接收单元上的接收光点；点数确定装置，其用于根据接收光点检测装置的检测结果来确定接收光点的数量；点位置确定装置，其用于根据上述接收光点检测装置的检测结果来确定在上述接收光点中接收光量最大的一维位置；以及目标检测处理装置，其用于根据点数确定装置和点位置确定装置的确定结果来输出表示待测目标的存在与否的检测信号。

主权项

一种光学位移传感器，包括：光投射单元，其用于把光投射到待测目标；光接收单元，其包括两个或多个排列成线形的光接收装置，用于接收所述投射光被所述待测目标反射的光，并且输出与接收光量相对应的信号；接收光点检测装置，其用于根据所述各个光接收装置的输出来检测所述光接收单元上的接收光点；点数确定装置，其用于根据所述接收光点检测装置的检测结果来确定所述接收光点的数量；点位置确定装置，其用于根据所述接收光点检测装置的检测结果来确定所述接收光点的一维位置；位移量计算装置，其用于根据点数确定装置和点位置确定装置的确定结果来计算待测目标的位移量；测量处理装置，其用于把位移量计算装置的位移量计算结果输出作为测量值；以及目标检测装置，其用于根据所述点数确定装置的确定结果来判定所述待测目标的存在与否，并且输出表示判定结果的检测信号。