抛光机的上抛光盘

摘要

本发明涉及硅片研磨机或抛光机的结构，尤其涉及硅片研磨机或抛光机上抛光盘的结构。一种抛光机的上抛光盘，包括有上盘工作盘(7)，其主要特点在于还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5)，上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2)，在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6)，分别与空腔(2)连通。本发明的优点是：特殊的水冷盘结构由几个独立的扇形区域腔构成，每个扇形区域腔有各自的进出水口，水路设计为迷宫式，避免了冷却水走捷径，只有在冷却水充满腔体后才能从出水口流出，确保了冷却水能对抛盘进行充分冷却，及时带走因加工而产生的热量，对抛盘起到了强制冷却的作用，较传统的被动式冷却更可靠。

主权项

一种抛光机的上抛光盘，包括有上盘工作盘(7)，其特征在于，还包括有在上盘工作盘(7)的上方设有上盘水冷盘(5)，上盘工作盘(7)与上盘水冷盘(5)之间形成空腔(2)，在上盘水冷盘(5)上设有进水口(3)和出水口(6)，所述的进水口(3)和出水口(6)分别与空腔(2)连通；在所述的上盘水冷盘(5)与所述的上盘工作盘(7)形成空腔(2)，所述的空腔(2)是在上盘水冷盘(5)上设有数个下凹的扇形区域，；每个下凹的扇形区域由凸出的分隔筋(2‑1)分为两个互为连通的下凹的进水区(2‑2)、出水区(2‑3)，在进水区(2‑2)设有进水口(3)，在出水区(2‑3)设有出水口(6)；在所述的进水区(2‑2)上还设有进水区凸出筋(2‑4)，在所述的出水区(2‑3)设有出水区凸出筋(2‑5)；进水区凸出筋(2‑4)、出水区凸出筋(2‑5)与分隔筋(2‑1)相向设置，形成水道。