| 发明名称 |
ITERATIVE FEEDBACK TUNING IN A SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
A method, system, device, and software for automatically determining PI feedback parameters in a scanning probe microscopy application setup using an iterative feedback tuning process. |
| 申请公布号 |
EP2215637(A4) |
申请公布日期 |
2012.10.31 |
| 申请号 |
EP20080853364 |
申请日期 |
2008.12.01 |
| 申请人 |
NANOFACTORY INSTRUMENTS AB |
发明人 |
SVENSSON, KRISTER;BENGTSSON, PAUL;ALTENBURG J. SIMON |
| 分类号 |
G01Q10/06;B82Y35/00;G01Q30/04 |
主分类号 |
G01Q10/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
