发明名称 |
一种柔性衬底硅化铁(βFeSi<sub>2</sub>)薄膜太阳电池及其制备方法 |
摘要 |
一种柔性衬底硅化铁(β-FeSi2)薄膜太阳电池及其制备方法,涉及多晶β-FeSi2薄膜太阳电池器件结构设计和薄膜半导体材料制备方法。本发明的特点是以柔性金属箔为衬底材料[1],底电极为金属钼(Mo)膜[2],以N型多晶薄膜β-FeSi2[4]、弱N型多晶薄膜β-FeSi2[5]和P型多晶薄膜β-FeSi2[6]形成n-p结,透明导电层为氧化锌铝(ZnO:Al)[7],其特征为:太阳电池pn结都由β-FeSi2多晶薄膜材料组成。柔性衬底硅化铁薄膜太阳电池其制备方法,包括在衬底[1]上顺序制备底电极[2]、过渡层[3]、N型薄膜层[4]、弱N型薄膜层[5]、P型薄膜层[6]、透明导电层[7]和上电极金属膜[8]材料,其特点是:电池各层材料都可在真空环境下采用磁控溅射沉积获得。本发明的太阳电池结构简单,电池具有轻质、可卷曲和高性价比等优点,电池原材料成本廉价,制备方法简单、无污染,易于采用卷对卷连续化方式进行大面积电池产品的规模化生产,电池应用领域广。 |
申请公布号 |
CN102760776A |
申请公布日期 |
2012.10.31 |
申请号 |
CN201210264393.8 |
申请日期 |
2012.07.30 |
申请人 |
江苏天孚太阳能有限公司 |
发明人 |
王泽洪 |
分类号 |
H01L31/02(2006.01)I;H01L31/0368(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I;H01L31/068(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
柔性衬底硅化铁薄膜太阳电池,依次由衬底[1]、底电极[2]、过渡层[3]、N型薄膜层[4]、弱N型薄膜层[5]、P型薄膜层[6]、透明导电层[7]和上电极金属膜[8]材料组成,其特征在于:所述的衬底[1]为柔性金属箔材料。 |
地址 |
212300 江苏省丹阳市云阳镇海归创业园 |