传感光电二极管上方具有曲面微镜的图像传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及在CMOS图像传感器(CIS)工艺中在光电二极管有源区域(收集区域)上方集成曲面微镜。所述曲面微镜将已经穿过所述收集区域的光反射回到所述光电二极管中。所述曲面微镜最佳实施在背侧照明装置(BSI)中。

主权项

一种制作用于图像传感器的微镜的方法，其包括：制作所述图像传感器直到但不包含第一金属化层，其中所述图像传感器包含一构建以自所述图像传感器的光入射侧接收光的光敏元件；在金属前介电层上制作微透镜；在所述微透镜和金属前介电层上沉积反射材料金属层；用光致抗蚀剂覆盖所述金属层；对所述光致抗蚀剂进行图案化以从除所述微透镜的表面以外的所有区域处去除所述光致抗蚀剂，其中所述金属层暴露于所述光致抗蚀剂去除的地方；蚀刻掉暴露的所述金属层以形成所述微镜，其中所述光敏元件设置于所述图像传感器的所述光入射侧及所述微镜之间；去除剩余的光致抗蚀剂；以及用介电材料层覆盖所述微镜。