一种移相器和耦合器及其制造方法

摘要

本发明实施例提供一种移相器和耦合器及其制造方法，涉及光子学领域，能够减小光学损耗、提高光场能量利用率并提高器件响应速度。该移相器包括：底层硅层和覆盖底层硅层的绝缘层；覆盖绝缘层的顶层硅层，顶层硅层包括两个隔离槽，两个隔离槽被公共槽壁隔开，该公共槽壁即波导，波导的高度高于两个隔离槽的外侧槽壁；分别覆盖两个隔离槽的两个外侧槽壁的第一阴极金属层和第二阴极金属层；覆盖第一阴极金属层、第二阴极金属层和顶层硅层的电光聚合物材料层；形成在波导上方的电光聚合物材料层上方的上层电极，上层电极和波导之间形成有被电光聚合物材料层填充的狭缝；覆盖上层电极和电光聚合物材料层的第二保护层。本发明实施例应用于电光移相。

主权项

PCT国内申请，权利要求书已公开。