发明名称
摘要
申请公布号 JP5060375(B2) 申请公布日期 2012.10.31
申请号 JP20080109868 申请日期 2008.04.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;C23C16/455;H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利