大平片光谱测试仪的光学系统

摘要

一种大平片光谱测试仪的光学系统，包括钨灯光源，钨灯光源的光发散到第一球面镜上，光从第一球面镜反射出后，经入射光狭缝射到第一反射镜，光被第一反射镜反射后经由第二球面镜后射到光栅，经光栅色散后的光射至第三球面镜，再经第三球面镜射出后依次经出射光狭缝和滤光片射出的单色光至第一透镜，单色光经第一透镜射出后到达第二反射镜，从第二反射镜射出的单色光通过测试样品台后射至第二透镜，从第二透镜射出的单色光最后到达接收器，其特征在于：所述第二反射镜与入射光成45°角。本实用新型实现了样品直接平放在工作台上进行测试，确保了小孔径样品的定位，保证了测试精度和准确性。

主权项

一种大平片光谱测试仪的光学系统，包括钨灯光源(1)，钨灯光源(1)的光发散到第一球面镜(2)上，光从第一球面镜(2)反射出后，反射光路上装有入射光狭缝(3)，光线经入射光狭缝(3)射出到第一反射镜(4)，光被第一反射镜(4)反射后，进入反射光路上的第二球面镜(5)，经由第二球面镜(5)反射光路上的光栅(6)色散后射至第三球面镜(7)，光经第三球面镜(7)射出后进入装在射出光路上的出射光狭缝(8)，光线从出射光狭缝(8)射出后射至滤光片(9)，从滤光片(9)射出的单色光至第一透镜(10)，单色光经第一透镜(10)射出后到达第二反射镜(11)，从第二反射镜(11)射出的单色光通过射出光路上的测试样品台(12)后射至第二透镜(13)，从第二透镜(13)射出的单色光最后到达接收器(14)，其特征在于：所述第二反射镜(11)与入射光成45°角。