MEMS三轴加速度传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种MEMS三轴加速度传感器及其制造方法。根据本发明的MEMS三轴加速度传感器包括支撑框体、弹性梁、敏感质量块、下支撑体、栅型敏感电容和引线电极；其中，敏感质量块通过弹性梁悬于支撑框体之间，支撑框体通过键合与下支撑体连接，敏感质量块与下支撑体之间有间隙，敏感质量块上制作了栅型电容的上电极，下支撑体的内表面上制作栅型电容的下电极组，上电极与下电极组错位排列构成一组栅型电容，该组栅型电容从引线电极输出;其中，该组栅型电容包括第一电容、第二电容、第三电容和第四电容，第一电容与第二电容、第三电容与第四电容分别构成差分检测电容，所述MEMS三轴加速度传感器通过电容的运算实现三轴加速度量的同时检测。

主权项

一种MEMS三轴加速度传感器，其特征在于包括：支撑框体(1)、弹性梁(2)、敏感质量块(3)、下支撑体(4)、栅型敏感电容(5)和引线电极(6)；其中，敏感质量块(3)通过弹性梁(2)悬于支撑框体(1)之间，支撑框体(1)通过键合与下支撑体(4)连接，敏感质量块(3)与下支撑体(4)之间有间隙(7)；其中，敏感质量块(3)上制作了栅型电容(5)的上电极(8)，下支撑体(4)的内表面上制作栅型电容(5)的下电极组(9)，上电极(8)与下电极组(9)错位排列构成一组栅型电容(5)，该组栅型电容(5)从引线电极(6)输出；该组栅型电容(5)包括第一电容(C1)、第二电容(C2)、第三电容(C3)和第四电容(C4)，第一电容(C1)与第二电容(C2)、第三电容(C3)与第四电容(C4)分别构成差分检测电容，所述MEMS三轴加速度传感器通过电容的运算实现X、Y、Z三轴加速度量的同时检测。