发明名称 传感器装置
摘要 本发明涉及一种具有在电阻层(13)中形成的叉指电极(14)的用于检测表面上凝露的传感器装置(100),该传感器装置形成在衬底材料(10)上。为进一步改进传感器装置(100),从而进一步提高传感器装置(100)的检测速度,本发明提出了通过涂敷的冷凝核,叉指电极(14)和叉指电极(14)之间的凹槽(16)具有湿敏亲水表面(18)。
申请公布号 CN101622527B 申请公布日期 2012.10.31
申请号 CN200780042057.6 申请日期 2007.11.02
申请人 威旭BC元件贝士拉革有限公司 发明人 沃尔夫冈·沃纳;J·奥里希;S·韦特
分类号 G01N25/68(2006.01)I;G01N27/12(2006.01)I;G01N27/22(2006.01)I 主分类号 G01N25/68(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 赵科
主权项 一种具有构造在电阻层(13)中的叉指电极(14)的用于检测表面上的凝露的传感器装置(100),所述电阻层(13)形成在衬底材料(10)上,其特征在于:通过涂敷的冷凝核(19),叉指电极(14)和凹槽(16)具有湿敏亲水表面(18),其中所述冷凝核被烧结,其中叉指电极(14)的平行延伸的齿(15)通过由成束的激光束(17)所形成的沟状凹槽(16)而彼此分隔开,叉指电极(14)被连接到接触电极(11,12),以便能够施加电压,沟状凹槽(16)突出穿过电阻层(13)进入衬底材料(10)。
地址 德国海德