用于汽相淀积源的加热系统

摘要

本专利描述了一种汽相淀积源，该汽相淀积源包括配备有两个区域的容器。第一区域用于产生蒸汽。该第一区域配备有材料接收器和用于加热放置在接收器中的材料的装置。第二区域是包括与产生区域连通的容器的扩散区域，该第二区域配备有至少一个孔，以便使得汽相材料通过所述孔朝着容器的外部传送。所述淀积源的特征在于，一方面，淀积源的腔部包括内部壁和外壳，内部壁和外壳限定填充有传热液体的中间空间，另一方面，其配备有用于加热冷却剂的装置。

主权项

汽相材料淀积源（10），该汽相材料淀积源包括配备有两个区域的容器：蒸汽产生区域（20），该蒸汽产生区域配备有材料接收器和用于加热放置在接收器（21）中的该材料的装置；与所述蒸汽产生区域连通的腔部（50），该腔部配备有至少一个孔（30），以便使得汽相材料通过所述孔（30）朝着所述容器的外部传送；其特征在于，一方面，所述腔部（50）包括内部壁（52）和外壳（60），所述内部壁和所述外壳定义了充注有传热液体（25）的中间空间，另一方面，所述汽相材料淀积源配备有用于加热传热液体（25）的装置。