采用电磁支承的四自由度精密平台

摘要

本发明提供了一种电磁支承的四自由度工作台，其包括：壳体、径向轴承组件、径向位置传感器、上轴向轴承组件、下轴向轴承组件、轴向位置传感器、芯轴组件、步进电机定子组件、光电检测器组件、传感器电路、功率放大器、电磁支承控制计算机。本发明可以实现大中型零部件的四自由度的精确位置调整，由于采用电磁支承平台，并采用控制计算机集中控制，因此移动操作简单，精度高，速度快，在一定范围内可移动到任意指定位置。

主权项

一种电磁支承的四自由度工作台，其特征在于，包括：壳体、径向轴承组件、径向位置传感器、上轴向轴承组件、下轴向轴承组件、轴向位置传感器、芯轴组件、步进电机定子组件、光电检测器组件、传感器电路、功率放大器、电磁支承控制计算机。