用于防止图案膜上的图案弯曲的控制装置

摘要

本发明涉及一种用于防止图案膜上的图案弯曲的控制装置，该控制装置用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜制作装置，该控制装置包括：标记单元，该标记单元在膜的预定参考位置上形成标记，使用膜传送设备定位预定参考位置以作为参考；识别单元，该识别单元位于该标记单元的后部，且识别在膜上的标记的位置；运算单元，该运算单元基于标记的参考位置和被识别的位置之间的差值计算弯曲的量；控制单元，该控制单元产生校正信号，该校正信号对应于所计算的弯曲的量而校正标记单元和图案形成设备的位置；和校正单元，该校正单元接收校正信号和基于所接收的校正信号校正该标记单元与该图案形成设备的位置。

主权项

一种用于防止图案弯曲的控制装置，所述控制装置用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜制作装置，所述控制装置包括：标记单元，所述标记单元在所述膜的预定参考位置上形成标记，使用所述膜传送设备作为参考定位所述预定参考位置；识别单元，所述识别单元位于所述标记单元的后部，且识别在所述膜上的所述标记的位置；运算单元，所述运算单元基于所述标记的所述参考位置和被识别的位置之间的差值计算弯曲的量；控制单元，所述控制单元产生校正信号，所述校正信号对应于所计算的弯曲的量来校正所述标记单元和所述图案形成设备的位置；和校正单元，所述校正单元接收所述校正信号和基于所接收的所述校正信号校正所述标记单元和所述图案形成设备的位置。