挠性基板的传送装置

摘要

公开了一种传递设备（100），该传递设备通过使挠性基板处于竖直姿态来沿基板纵向传递挠性基板（1）。保持装置（21）设有夹住基板（1）的上端部的一对夹持辊子（23，24）。第一驱动装置（60）调节辊子（23，24）的压力接触力。第二驱动装置（80）调节辊子（23，24）相对于基板（1）的传递方向的倾斜角度。基板（1）沿垂直方向的位置借助于这些调节来维持恒定。保持装置（21）设有夹住基板（1）的下端部的另一对夹持辊子。在成膜室（40）中，在基板（1）上形成薄膜。保持装置（21）设置在相邻的成膜室（40）之间。基板（1）可以是塑料膜。在成膜室（40）中，可进行化学蒸气沉积或物理蒸气沉积。基板（1）可以是用于太阳能电池的基板。

主权项

一种用于传送带状挠性基板的传送装置，所述传送装置包括：基板传送装置，所述基板传送装置用于在使所述挠性基板竖直的同时传送所述挠性基板，所述挠性基板沿其宽度方向的一端部位于上侧；以及用于维持所述挠性基板的传送高度的基板保持装置，其中所述基板保持装置具有：一对夹持辊子，所述一对夹持辊子夹住所述挠性基板的至少上侧端部；支承机构，所述支承机构支承所述一对夹持辊子，从而所述一对夹持辊子能转动并彼此接触和分离；传递机构，所述传递机构联接到所述支承机构并传递用于使所述夹持辊子中的一个与另一夹持辊子压力接触的力；第一驱动装置，所述第一驱动装置联接到所述传递机构，并构造成通过在所述第一驱动装置与所述传递机构相联接的联接部段上进行角位移来调节所述一对夹持辊子的压力接触力；角度调节机构，所述角度调节机构联接至所述支承机构，并构造成通过绕用作所述角度调节机构的支承点的支轴转动来使所述成对的夹持辊子相对于所述挠性基板的传送方向倾斜；以及第二驱动装置，所述第二驱动装置联接至所述角度调节机构，并构造成通过在所述第二驱动装置与所述角度调节机构相联接的联接部段上进行角位移来调节所述成对的夹持辊子相对于所述挠性基板的所述传送方向的倾斜角度。