单晶炉用伸展式热屏蔽器

摘要

本发明公开了一种单晶炉用伸展式热屏蔽器，包括有围绕于硅单晶棒外热屏，热屏的上端连接有热屏上盖，热屏上盖的下方设有上保温筒，所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成，热屏呈圆台状，且具有通道，热屏与热屏上盖之间的夹角为40-50°，通道的纵剖面为梯形，热屏外侧滑动配合有延伸热屏，延伸热屏外侧连接有推动气缸，推动气缸的缸体固定于热屏上盖上。在一定程度上增加了熔硅的纵向温度梯度，同时采用延伸热屏后，可以调节氩（氮）气流对固-液界面的吹拂高度，增强了氩（氮）气流携带结晶潜热的作用因此有利于单晶生长，并可以提高结晶速率，进而提高拉晶速率。

主权项

单晶炉用伸展式热屏蔽器，其特征在于：包括有围绕于硅单晶棒外热屏，热屏的上端连接有热屏上盖，热屏上盖的下方设有上保温筒，所述热屏是由热屏外壳、热屏内壳及中间的热屏保温层组成，热屏呈圆台状，且具有中央通道，热屏与热屏上盖之间的夹角为40‑50°，中央通道的纵剖面为梯形，热屏外侧滑动配合有延伸热屏，延伸热屏外侧连接有推动气缸，推动气缸的缸体固定于热屏上盖上。