加速计及其制造方法

摘要

MEMS加速计使用两个电极层之间的电容性传感。电极层之一具有配置为两对电极的至少四个独立电极，一对相对电极与另一对相对电极正交地排列，使得可以检测隔膜的倾斜和隔膜的法向移动。按照这种方式，可以由单独的悬置质量体形成三轴加速计，并且通过使用都在相同平面内的一组电容器电极。这意味着制造是简单的，并且与诸如MEMS麦克风之类的其他MEMS制造工艺兼容。

主权项

一种MEMS加速计，包括：衬底(70)；悬置于开口上的隔膜(74)，所述开口延伸穿过所述衬底(70)，其中所述隔膜(74)限定了第一电极层，以及第二电极层(76)，设置在所述隔膜(74)上并且与所述隔膜间隔开，其中沿所述隔膜的法向对所述隔膜施加的力引起所述隔膜(74)和所述第二电极层(76)之间间距的变化，其特征在于：所述第二电极层(76)包括包含下部绝缘体、导体(80)和顶部绝缘体在内的叠层，并且对所述导体(80)进行构图以限定配置为两对相对电极的至少四个独立电极，其中一对相对电极与另一对相对电极正交地排列，使得能够检测所述隔膜绕一对相对电极之间的轴的倾斜以及所述隔膜(74)的法向移动，并且其特征在于所述隔膜(74)限定了单独的电极。