一种空间解耦三维移动并联微动机构

摘要

本发明公开了一种空间解耦三维移动并联微动机构，包括基平台、动平台、三个分支和分别安装在三个分支上的三个压电陶瓷驱动器；三个分支互相正交，安装在基平台上并与动平台连接；分支包括柔性旋转副、柔性移动副和柔性圆柱副，柔性移动副分别通过连杆与柔性旋转副和柔性圆柱副连接；压电陶瓷驱动器用于驱动压电陶瓷进行运动。本发明的三分支输入和动平台输出实现运动解耦，在某个分支上加载位移，就能控制动平台对应方向上的运动输出，克服了常规三分支三维移动并联微动机构运动耦合问题。另外，本发明在压电陶瓷驱动过程中，利用桥式位移放大器对压电陶瓷输出位移进行放大，扩大了并联微动机构的工作空间。

主权项

一种空间解耦三维移动并联微动机构，其特征在于，包括基平台、动平台、三个分支和分别安装在所述三个分支上的三个压电陶瓷驱动器；所述三个分支互相正交，安装在所述基平台上并与所述动平台连接；所述分支包括柔性旋转副、柔性移动副和柔性圆柱副，所述柔性移动副分别通过连杆与所述柔性旋转副和柔性圆柱副连接；所述压电陶瓷驱动器用于驱动压电陶瓷进行运动。