溅镀靶材检测机构

摘要

本发明涉及一种溅镀靶材检测机构，其主要在液体储槽上装设可三维空间移动的移动装置带动超声波检测组件位移，另外，液体储槽中枢设多个并列的滚轴，该多个滚轴由滚轴驱动组件所驱动而同向旋转，通过利用该多个滚轴于液体储槽中承载待检溅镀靶材，对超声波检测组件进行检测，并可利用滚轴带动溅镀靶材旋转，使该溅镀靶材检测机构可以一机适于平面型、圆筒形或异型等多种不同类型的溅镀靶材检测工作。

主权项

一种溅镀靶材检测机构，其特征在于，其包括：液体储槽；移动式超声波检测机组，其包括移动装置以及超声波检测组件，所述移动装置位于液体储槽上，且组接所述超声波检测组件，用以驱动超声波检测组件做三维空间位移；靶材移动装置，其包括多个滚轴以及一个滚轴驱动组件，该多个滚轴并列枢设于液体储槽中，滚轴驱动组件连接该多个滚轴，用以驱动该多个滚轴同向旋转；以及控制器，其电性连接移动装置与滚轴驱动组件，用以控制移动装置与滚轴驱动组件的工作。