提取电阻模型长度偏差值的方法

摘要

本发明提出一种电阻建模中萃取电阻模型长度偏差值的方法，包括以下步骤：将多个电阻被测器件置于相同的温度中，依次用强度不同的多个电场分别加在这些电阻被测器件上，这些电阻被测器件是利用相同工艺制造出，理想宽度相同，理想长度不同；测量流经不同电阻被测器件的电流，计算不同电阻被测器件的电阻值；以及分别拟合相同强度电场下电阻模型的理想长度与电阻值的关系曲线，不同强度电场的曲线交点的横坐标即为电阻模型的长度偏差值。本发明提供了一种全新的通过拟合曲线的方式来萃取电阻建模的长度偏差值，萃取方式简单可行，萃取得到的长度偏差值加入到模拟过程的参数设置中，使得模拟结果更为精确可信。

主权项

一种电阻建模中提取电阻模型长度偏差值的方法，其特征是，包括以下步骤：将多个电阻被测器件置于相同的温度中，依次用强度不同的多个电场分别加在这些电阻被测器件上，这些电阻被测器件是利用相同工艺制造出，理想宽度相同，理想长度不同；测量流经不同电阻被测器件的电流，计算不同电阻被测器件的电阻值；以及分别拟合相同强度电场下电阻被测器件的理想长度与电阻值的关系曲线，不同强度电场下的曲线交点的横坐标即为电阻模型长度偏差值。