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发明名称 SUBSTRATE HOLDER, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESS SYSTEM
摘要
申请公布号 KR101196126(B1) 申请公布日期 2012.10.30
申请号 KR20080122624 申请日期 2008.12.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;G02F1/13 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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