| 摘要 |
Гравиметрическое сенсорное устройство с боковой вибрацией, встраивающееся под микрожидкостными каналами и производящееся по технологии микроэлектромеханических систем (MEMS), которое обнаруживает биологические клетки и вещества, определяемые при анализе, путем измерения изменения массы, помещенной на его поверхность, и которое состоит из четырех основных групп, включая резонатор, который может помещаться на основании канала; компоненты биоактивации резонатора; микрожидкостный канал и технологию микропроизводства. Его основные компоненты включают испытательную массу (1), гребенчатые пальцы, фиксирующиеся на испытательной массе (2), сложенные пружинные балки (3), дно канала и механическую почву (4), неподвижные электроды (5), гребенчатые пальцы, крепящиеся к неподвижным электродам (6), золотую пленку (7), накладывающуюся на массу, иммобилизованные биологические опознавательные молекулы (8) и микрожидкостный канал, помещающийся на резонаторной структуре (9). |
