DEVICE AND METHOD FOR THE PLASMA-ASSISTED PRODUCTION OF NANOSCALE PARTICLES AND/OR FOR COATING SURFACES

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf Vorrichtung zur plasmagestützten Herstellung nanoskaliger Partikel und/oder zur Beschichtung von Oberflächen mit einer Prozesskammer (10), die Elektroden (11, 12, 13) zur Erzeugung eines Lichtbogens A, B aufweist und mit wenigstens einer Gaszuführung (14) und wenigstens einer Materialzuführung (15) zur Erzeugung eines Gas- und Materialstroms C in der Prozesskammer (10) verbunden ist, wobei wenigstens eine erste Elektrode (11) stromaufwärts und wenigstens eine zweite Elektrode (12) stromabwärts voneinander beabstandet angeordnet sind, die zur Erzeugung eines ersten Lichtbogens A unterschiedliche Polaritäten aufweisen und eine erste Heizzone (16a) bilden.