METHOD FOR PRODUCING A TEXTURED SILICON SUBSTRATE

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines texturierten Siliziumsubstrats, insbesondere Silizium-Wafers, umfassend folgende Arbeitsschritte: a) Einseitiges Aufbringen einer wässrigen Katalysatorlösung, enthaltend Metallionen, auf das Siliziumsubstrat; b) Behandlung des Siliziumsubstrats mit einer sauren und/oder basischen Ätzlösung, enthaltend mindestens ein Oxidationsmittel.