Positionsmesseinrichtung sowie Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabs

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung mit einem induktiv abtastbaren Maßstab (1). Die Positionsmesseinrichtung weist eine Abtasteinheit (2) zur Abtastung von Teilungselementen (12) des Maßstabs (1) auf, hierzu weist die Abtasteinheit (2) eine Erregereinheit (21) zur Erzeugung eines elektromagnetischen Wechselfeldes sowie eine Detektoreinheit (22) zur Detektion des von den Teilungselementen (12) positionsabhängig modulierten elektromagnetischen Wechselfeldes auf. Der Maßstab (1) besteht aus einem vorzugsweise durch Kaltwalzplattieren geschaffenen Schichtstapel (10) mit einem Substrat (103), das die mechanischen Eigenschaften des Maßstabs (1) maßgebend bestimmt, einer Trägerschicht (102) aus ferromagnetischem Material mit hoher Permeabilität und einer darauf befindlichen, die Teilungselemente (12) bildenden Teilungsschicht (101) aus elektrisch gut leitfähigem Material.