Ladungsteilchenstrahlvorrichtung

摘要

Eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zum Erfassen von geladenen Signalteilchen in mehreren Energiebändern und zum Erhalten von hochaufgelösten Abbildungen für jedes der Energiebänder umfaßt eine Quelle (12-1) für geladene Teilchen; eine Blende (16) zum Begrenzen des Durchmessers des Teilchenstrahls (4); eine Optik (14, 17, 19) für den Teilchenstrahl; einen Probenhalter (21); einen Detektor (40) für geladene Teilchen, der geladene Sekundärteilchen und von der Probe rückgestreute geladene Teilchen erfaßt; und eine Signalberechnungseinheit zum Verarbeiten des Ausgangssignals des Detektors für geladene Teilchen. Der Detektor (40) für geladene Teilchen umfaßt einen ersten kleinen Detektor (51) mit einer ersten Erfassungsempfindlichkeit und einen zweiten kleinen Detektor (52) mit einer zweiten Erfassungsempfindlichkeit, wobei für den ersten kleinen Detektor (51) und den zweiten kleinen Detektor (52) der Erfassungsraumwinkel, gesehen von der Steile auf der Probe, auf die der Teilchenstrahl (4) ein gestrahlt wird, jeweils gleich groß ist.