对玻璃基板进行烤焙处理的装置及方法

摘要

本发明公开了一种对玻璃基板进行烤焙处理的装置，包括：一烤焙室，用于对所述玻璃基板进行加热；一支撑构件，用于支撑所述玻璃基板；一温度传感装置，用于感测所述玻璃基板的温度；一加热装置，用于对所述支撑构件进行加热；一冷却装置，用于对所述支撑构件进行冷却；一温度控制装置，用于接收所述温度传感装置发送的温度数据，并根据所述的温度数据控制所述加热装置对所述支撑构件进行加热，或者控制所述冷却装置对所述支撑构件进行冷却。本发明还公开了一种对玻璃基板进行烤焙处理的方法。本发明能动态地控制与玻璃基板接触的支撑构件的温度，在整个烤焙过程中使玻璃基板的温度与支撑构件的温度保持一致，有效地防止玻璃基板上出现斑点。

主权项

一种对玻璃基板进行烤焙处理的装置，其特征在于，包括：一烤焙室，用于对所述玻璃基板进行加热；一支撑构件，用于支撑所述玻璃基板；一温度传感装置，用于感测所述玻璃基板的温度；一加热装置，用于对所述支撑构件进行加热；一冷却装置，用于对所述支撑构件进行冷却；一温度控制装置，用于接收所述温度传感装置发送的温度数据，并根据所述的温度数据控制所述加热装置对所述支撑构件进行加热，或者控制所述冷却装置对所述支撑构件进行冷却。