一种粉体材料低温等离子体表面处理方法及其装置

摘要

本发明提供一种粉体材料低温等离子体表面处理方法，所述方法步骤为：将粉体材料装入流化床内进行表面处理，流化床内抽真空，并且同时在流化床底部定量通入反应气体，通过施加电场在流化床内产生辉光放电等离子体。一种粉体材料低温等离子体表面处理装置，所述装置包括电极、流化床、流量调节器、气瓶、等离子体电源发生器、粒子过滤阱以及真空泵。本发明使得没有暴露在等离子体气氛中的表面得到处理，实现单个微粒的表面得到全部的处理，导致处理均匀性好，处理效率高，处理效果理想。

主权项

一种粉体材料低温等离子体表面处理方法，其特征在于，所述方法步骤为：将粉体材料装入流化床内进行表面处理，流化床内抽真空，并且同时在流化床底部定量通入反应气体，通过施加电场在流化床内产生辉光放电等离子体。