批量传输薄基片的伯努利式端拾器

摘要

一种用于同时传输一批基体的端接器。该端拾器包括一组并列的基体夹持器，其特征是在相邻对的夹持器之间不超过6.00毫米的一间距。每个夹持器有一接触面，注入一股气流沿着该接触面的开槽射出，使一基体变成贴着该接触面被夹持。由于两个相邻基体夹持器有紧密的间隔，开槽必须很浅。开槽的特征为进入接触面的一凹槽深度是在2.00毫米至2.40毫米之间。替换地，开槽的特征为在接触面的一凹槽宽度系比它进入该基体夹持器之该接触面的凹槽深度至少大3倍。

主权项

一种适于用以同时传输一批基片的端拾器，该端拾器包括多个并列的基片夹持器，其特征是在相邻的基片夹持器之间不超过6.00毫米的间距，每个基片夹持器有一个接触面，当注入第一压缩空气流沿着形成该基片夹持器之接触面的第一开槽射出，使一个基片变成贴着该接触面夹持，该第一开槽具有一凹槽深度，其进入该基片夹持器之该接触面是介于2.00毫米至2.40毫米之间。