发明名称 |
一种用于静电防护的可控硅 |
摘要 |
本发明公开了一种用于静电防护的可控硅,包括由上拉可控硅、下拉可控硅、隔离电阻、NMOS管和PMOS管,所述的上拉可控硅包括分别有第一P+注入区和第一N+注入区的第一N阱和分别有第二P+注入区和第二N+注入区的第一P阱,所述的下拉可控硅包括分别有第三P+注入区和第三N+注入区的第二N阱和分别有第四P+注入区和第四N+注入区的第二P阱。本发明利用可控硅中寄生的PN二极管结构和寄生的阱电阻结构形成电压钳位结构,实现ESD脉冲的快速响应与防护结构的预开启,本发明在开启速度上更有优势,能更好的保护脆弱的栅极氧化层不受瞬时、快速的ESD静电冲击。 |
申请公布号 |
CN102222669B |
申请公布日期 |
2012.10.24 |
申请号 |
CN201110109035.5 |
申请日期 |
2011.04.28 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
董树荣;苗萌;吴健;范鸿燕 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01)I;H01L29/74(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 |
代理人 |
胡红娟 |
主权项 |
一种用于静电防护的可控硅,包括上拉可控硅(11)、下拉可控硅(12)、隔离电阻(13)、NMOS管(14)和PMOS管(15),其特征在于:所述的上拉可控硅(11)包括第一N阱(21)和第一P阱(22),其中第一N阱(21)上分别有第一P+注入区(23)和第一N+注入区(24),第一P阱(22)上分别有第二P+注入区(25)和第二N+注入区(26);所述的下拉可控硅(12)包括第二N阱(31)和第二P阱(32),其中第二N阱(31)上分别有第三P+注入区(33)和第三N+注入区(34),第二P阱(32)上分别有第四P+注入区(35)和第四N+注入区(36);所述的上拉可控硅(11)第一N阱(21)中的第一P+注入区(23)和第一N+注入区(24)接电源线,第一P阱(22)中的第二P+注入区(25)接下拉可控硅(12)第二N阱(31)中的第三N+注入区(34)和隔离电阻(13),上拉可控硅(11)第一P阱(22)中的第二N+注入区(26)与下拉可控硅(12)第二N阱(31)中的第三P+注入区(33)接输入输出端;所述的下拉可控硅(12)第二N阱(31)中的第三P+注入区(33)与上拉可控硅(11)第一P阱(22)中的第二N+注入区(26)接输入输出端,第二N阱(31)中的第三N+注入区(34)接上拉可控硅(11)第一P阱(22)中的第二P+注入区(25)和隔离电阻(13),下拉可控硅(12)第二P阱(32)中的第四P+注入区(35)和第四N+注入区(36)接地线;所述隔离电阻(13)阳极接上拉可控硅(11)的第一P阱(22)中的第二P+注入区(25)和下拉可控硅(12)的第二N阱(31)中的第三N+注入区(34),隔离电阻(13)阴极接PMOS管(14)栅极和NMOS管(15)栅极;所述PMOS管(14)的源极和漏极接电源线;所述NMOS管(15)的漏极和源极接地线。 |
地址 |
310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |