复合型衍射光学元件的制造方法，和复合型衍射光学元件

摘要

本申请公开了复合型衍射光学元件的制造方法，和复合型衍射光学元件。使具有层叠在透明基板上的树脂层的复合型衍射光学元件成型。随后，利用冷却喷嘴开始透明基板的非成型面的冷却，以便沿着从外周向着中心的一个方向形成温度梯度，并且沿着所述一个方向扩大冷却范围，以冷却透明基板。这样，从所述外周部分越过衍射光栅的中心到相对的外周部分，沿着一个方向进行脱模，从而使树脂层从衍射光栅模具脱除。

主权项

一种包括树脂层的复合型衍射光学元件的制造方法，所述树脂层形成于透明基板上并且具有多个同心的衍射光栅，所述制造方法包括：通过把可固化树脂置于衍射光栅模具和透明基板之间，用所述可固化树脂填充衍射光栅模具和透明基板之间的空间；固化所述空间中的可固化树脂，使包括层叠在透明基板上的树脂层的复合型衍射光学元件成型；开始透明基板的非成型面的冷却，以便沿着从外周向着中心的一个方向提供温度梯度；通过沿着所述一个方向扩大冷却范围来冷却整个透明基板；以及沿着所述一个方向从透明基板的外周部分越过衍射光栅的中心到相对的外周部分，使成型的复合型衍射光学元件从衍射光栅模具脱除。