处理装置

摘要

本发明公开了一种使向处理室输入、输出工件的操作效率化并提高工件的处理效率的处理装置。该处理装置，包括：等离子处理室，设置有第一供给排出口和第二供给排出口，第一供给排出口和第二供给排出口分别用于输入未处理的工件和输出处理后的工件；第一负载锁定室和第二负载锁定室，配置在等离子处理室的两侧，并且等离子处理室夹在第一负载锁定室和第二负载锁定室之间；以及控制部，控制所述处理装置，使得通过交替地进行从第一负载锁定室向处理室供给未处理工件的操作和从第二负载锁定室向处理室供给未处理的工件的操作来处理工件，从而当从所述处理装置的一个供给侧来看时，能够在处理室中每进行两次等离子处理供给一次工件。

主权项

一种用于工件的等离子处理的处理装置，包括：等离子处理室，设置有第一供给排出口和第二供给排出口，所述第一供给排出口和所述第二供给排出口分别用于输入未处理的工件和输出处理后的工件；第一负载锁定室和第二负载锁定室，配置在所述等离子处理室的两侧，并且所述等离子处理室夹在所述第一负载锁定室和所述第二负载锁定室之间；以及控制部，控制所述处理装置，使得通过交替地进行从所述第一负载锁定室向所述处理室供给未处理工件的操作和从所述第二负载锁定室向所述处理室供给未处理工件的操作来处理工件，从而当从所述处理装置的一个供给侧来看时，能够在所述处理室中每进行两次等离子处理供给一次工件。