显示装置的阵列基板

摘要

本发明涉及一种通过降低接触电阻并消除底切而显示出提高了的显示质量的LCD显示装置的基板。显示开关器件具有三个电极，它们中的至少一个具有三个金属层，第三金属层通过氮化第二金属层而形成。像素电极通过接触孔与第二金属层电连接，接触孔穿过绝缘层与开关器件的第二金属层而形成。

主权项

一种阵列基板，包括：具有显示区域与围绕显示区域的外围区域的基板；形成在显示区域上的具有栅极、源极与漏极的开关器件，其中栅极包含第一金属层、层叠在第一金属层上的第二金属层以及层叠在第二金属层上的第三金属层，其中第三金属层通过氮化第二金属层形成，其中每个源极与漏极都包含第四金属层、层叠在第四金属层上的第五金属层，以及层叠在第五金属层上的第六金属层，其中第四、第五与第六金属层分别包括与第一、第二与第三金属层基本相同的材料，形成在开关器件上的第二绝缘层；以及形成在第二绝缘层上的像素电极，像素电极通过接触孔与开关器件的所述漏极电连接，其中接触孔穿过第二绝缘层与所述漏极的第六金属层形成，从而所述像素电极直接接触所述漏极的第五金属层的平坦表面。