电致发光装置的发光单元及其制造方法

摘要

一种电致发光装置的发光单元及其制造方法，此电致发光装置的发光单元包括电源线、第一电极层、发光层以及第二电极层。电源线位于基板上。第一电极层位于基板上，且第一电极层与电源线电性连接，其中第一电极层的顶部的含氧量高于第一电极层的底部的含氧量。发光层位于第一电极层上。第二电极层位于发光层上。本发明可以增加电致发光装置的整体开口率。

主权项

一种电致发光装置的发光单元的制造方法，包括：在一基板上形成一电源线；在该基板上形成一第一电极层，该第一电极层与该电源线电性连接，其中形成该第一电极层包括进行一沉积程序，该沉积程序包括通入氧气，且所通入的氧气的量随着该沉积程序的时间而增加；在该第一电极层上形成一发光层；以及在该发光层上形成一第二电极层；其中该沉积程序还包括通入一惰性气体，且氧气与该惰性气体的流量比例随着该沉积程序的时间从1∶10增加至1∶1。