| 发明名称 | 感光性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 通过使用含有(A)、(B)以及(C)的感光性树脂组合物，可得到显影不均得到改善的分辨率高的图案。(A)树脂(B)下式(1)所示的聚合性化合物(C)具有下式(2)所示结构的光聚合引发剂<式(1)><img file="dsa00000711513700011.GIF" wi="1999" he="269" /><式(2)><img file="dsa00000711513700012.GIF" wi="637" he="293" /> | ||
| 申请公布号 | CN102749807A | 申请公布日期 | 2012.10.24 |
| 申请号 | CN201210134595.0 | 申请日期 | 2012.04.17 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 三浦洋之;宫芳子 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 徐申民;汤国华 |
| 主权项 | 1.一种感光性树脂组合物，含有(A)树脂、(B)下式(1)所示的聚合性化合物以及(C)具有下式(2)所示结构的光聚合引发剂，<式(1)><img file="FSA00000711513800011.GIF" wi="1903" he="265" />式中，R<sub>1</sub>表示氢原子或者甲基，X表示单键、-[(CH<sub>2</sub>)<sub>k</sub>]O-、-(CH<sub>2</sub>CH<sub>2</sub>O)<sub>l</sub>-、-[CH<sub>2</sub>CH(CH<sub>3</sub>)O]<sub>m</sub>-、-[CH<sub>2</sub>CH(OH)CH<sub>2</sub>O]<sub>n</sub>-、<img file="FSA00000711513800012.GIF" wi="1973" he="1491" />或者<img file="FSA00000711513800021.GIF" wi="1809" he="487" />k、m以及n表示1～15，l表示2～15的整数；<式(2)><img file="FSA00000711513800022.GIF" wi="1031" he="295" />式中，*表示各自的键合位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都中央区新川二丁目27番1号 | ||