| 发明名称 | 化学气相沉积设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，包含化学气相沉积反应腔以及气体传输装置；所述气体传输装置包含反应气源；在所述反应气源与所述化学气相沉积反应腔之间设置定量供气装置，该定量供气装置每次向化学气相沉积反应腔中输送定量的反应气体。本实用新型可精确控制进入各个反应腔内的反应气体量，提高薄膜太阳能电池的沉积质量，并且有效降低化学气相沉积设备的成本。 | ||
| 申请公布号 | CN202499905U | 申请公布日期 | 2012.10.24 |
| 申请号 | CN201120553436.5 | 申请日期 | 2011.12.27 |
| 申请人 | 理想能源设备（上海）有限公司 | 发明人 | 李一成;汪宇澄 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人 | 张静洁;徐雯琼 |
| 主权项 | 一种化学气相沉积设备，包含化学气相沉积反应腔以及气体传输装置；所述气体传输装置包含反应气源（1）；其特征在于：在所述反应气源（1）与所述化学气相沉积反应腔之间设置定量供气装置，该定量供气装置每次向化学气相沉积反应腔中输送定量的反应气体。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区居里路1号 | ||