一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法及装置

摘要

一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，包括合成炉和硅粉收集罐，具体操作步骤包括，A、在合成炉正常停车后，对合成炉进行置换；B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀与硅粉收集罐通过金属软管进行相连，通过氮气进口管线向合成炉通入氮气；C、打开硅粉泄放阀，氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐，氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐内，实现了硅粉的全部回收使用。本发明的有益效果如下：本方法工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；再生产中可以将合成炉内废旧硅粉全部回收再使用，同时回收时不会对人员身体产生粉尘危害。本发明同时公开了三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置。

主权项

一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，包括合成炉（10）和硅粉收集罐（40），具体操作步骤包括，A、在合成炉（10）正常停车后，对合成炉（10）进行置换；B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀（30）与硅粉收集罐（40）通过金属软管（3）进行相连，通过氮气进口管线（1）向合成炉（10）通入氮气；C、打开硅粉泄放阀（30），氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐（40），氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器（50）被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐（40）内，实现了硅粉的全部回收使用。