| 发明名称 | 成像光学部件 | ||
| 摘要 | 用于光刻投射曝光的成像光学部件（16），用于通过多个反射镜（M1至M6）引导具有小于193nm的波长的成像光（3）的光束，以进行物平面（5）中的物场（4）中的反射式物体（12）向像平面（18）中的像场（17）的无分束器成像，其中，物场点具有小于3°的中心光线角（α）。所述反射镜（M1至M6）中的至少一个为近场反射镜。从而获得允许高质量地成像反射式物体的成像光学部件。 | ||
| 申请公布号 | CN102754009A | 申请公布日期 | 2012.10.24 |
| 申请号 | CN201080063805.0 | 申请日期 | 2010.12.03 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 | 发明人 | H-J.曼;M.恩德雷斯;D.莎弗;B.沃姆;A.赫科默 |
| 分类号 | G02B17/06(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B17/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邱军 |
| 主权项 | 用于光刻投射曝光的成像光学部件（16；31；37），用于通过多个反射镜（M1至M6）引导具有小于193nm的波长的成像光（3）的光束，以进行物平面（5）中的物场（4）中的反射式物体（12）向像平面（18）中的像场（17）的无分束器成像，其中，物场点具有小于3°的中心光线角（α），并且所述反射镜（M1至M6）中的至少一个被设计为近场反射镜。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||