交流电泳定向组装碳纳米管阵列传感器件的制作方法

摘要

本发明揭示了一种交流电泳电极定向组装碳纳米管阵列传感器件的制作方法，其特征在于包括以下步骤：采用光刻和金属沉积法制作交流电泳金属电极的图形；在交流电泳金属电极上生长石墨烯薄膜；利用石墨烯覆盖的金属电极对超声分散后的碳纳米管施加交流电泳进行定向组装，形成碳纳米管阵列；利用过载电流烧断法去除或紫外光照法氧化碳纳米管阵列中的金属管，或同时采用两种方法结合去除碳纳米管阵列中的金属管；采用金属纳米颗粒或聚合物修饰定向碳纳米管阵列。本发明使用石墨烯覆盖的金属电极作为交流电泳电极的方法制备高性能的定向高密度碳纳米管阵列的场效应器件，提高了器件的灵敏度和检测选择性，能够实现对污染环境气体的便携、高灵敏度检测。

主权项

交流电泳定向组装碳纳米管阵列传感器件的制作方法，其特征在于包括以下步骤：Ⅰ、采用光刻和金属沉积法制作交流电泳金属电极的图形；Ⅱ、在交流电泳金属电极上生长石墨烯薄膜；Ⅲ、利用石墨烯覆盖的金属电极对超声分散后的碳纳米管施加交流电泳进行定向组装，形成碳纳米管阵列；Ⅳ、利用过载电流烧断法去除或紫外光照法氧化碳纳米管阵列中的金属管，或同时采用两种方法结合去除碳纳米管阵列中的金属管；Ⅴ、采用金属纳米颗粒或聚合物修饰定向碳纳米管阵列。