基板处理装置

摘要

本发明涉及一种具有多层结构的基板处理装置，所述装置不仅使结构变得简单，以提高设计自由度，而且使构件数量减少，从而可以提高生产效率。本发明的基板处理装置包括：框架；输送装置，其从布置在外部的装载机接收基板并将其传送；第一升降装置，从输送装置接收基板，并朝升降方向传送基板；第一移送装置，其设置在与输送装置不同的层上，并且从第一升降装置接收基板并将其传送；基板处理单元，其从第一移送装置接收基板并对其进行处理；第二移送装置，其接收在基板处理单元已完成处理的基板后将其传送；以及第二升降装置，升降从第二移送装置接收的基板，并将其传递给输送装置。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，包括：框架；移动装置，设置在所述框架上；输送装置，与所述移动装置相结合，通过设置在外部的装载机接收基板并将其传送；第一升降装置，从所述输送装置接收所述基板，并朝升降方向传送所述基板；第一移送装置，设置在与所述输送装置不同的层上，并且从所述第一升降装置接收所述基板后传送；基板处理单元，从所述第一移送装置接收所述基板后对其进行处理；第二移送装置，接收在所述基板处理单元已完成处理的基板后将其传送；第二升降装置，升降从所述第二移送装置接收的基板后，将其传递给所述输送装置，其中所述输送装置包括：支撑部件，与所述移动装置相结合；旋转机构，与所述移动装置和所述支撑部件相结合；多个臂，通过所述旋转机构旋转，用于置放基板。