真空腔以及成膜装置

摘要

本发明提供真空腔以及成膜装置，腔（1）具备：具有搬入基板并进行规定处理的基板处理室的腔部（2）；和设在腔部的外壁面上的可拆装的加强部件（3）。该加强部件是可拆装地安装在外壁面上的板状的接合部件（32），或是可拆装地安装在外壁面上的肋部件（31），也可以同时具备这些部件。

主权项

一种真空腔，其特征在于，具备：搬入基板并对基板进行规定处理的腔部；和设在腔部的外壁面上的可拆装的加强部件；所述腔部构成为，能够对由基板载架保持为大体垂直的被处理基板进行规定处理。