微机电系统麦克风装置及其制作方法

摘要

本发明提出一种微机电系统麦克风装置及其制作方法，所述微机电系统麦克风装置包含：一基板，该基板包含一第一腔室；一微机电系统元件区，位于该基板上方，其中，该微机电系统元件区包含金属层、通道层、绝缘材质区及一第二腔室；一罩幕层，位于该微机电系统元件区上方；一第一封盖，固定于该罩幕层上方，且具有至少一开口与该第二腔室相通；以及一第二封盖，固定于该基板下方。

主权项

一种微机电系统麦克风装置的制作方法，其特征在于，包含：提供一基板；于该基板上方，形成金属层、通道层、及绝缘材质区；于最上层金属层上方，形成一罩幕层；蚀刻部分该罩幕层，使该绝缘材质区露出部分；固定一第一封盖，使该第一封盖位于该罩幕层上方，且使该第一封盖具有至少一开口；蚀刻该基板背面，以形成一第一腔室；固定一第二封盖，使该第二封盖位于该基板下方；以及去除该绝缘材质区的一部分，产生一第二腔室，其中，该第二腔室与该第一腔室及该至少一开口相连通，且该第二腔室与该金属层、通道层、及绝缘材质区整体形成一微机电系统元件区。