一种大型光学零件离子束抛光机

摘要

本发明公开了一种大型光学零件离子束抛光机，包括真空抛光系统、承载装置、用于运输完成测量后的大口径工件、并在运输过程中使大口径工件的待加工面保持向下的翻转装置以及用于承接翻转装置所输送的大口径工件、并将大口径工件送至真空抛光系统的主真空室内的输送装置，所述承载装置包括导轨以及设于主真空室内、并用于承接输送装置所输送的大口径工件的内机架，所述输送装置设于导轨上，并沿所述导轨运动。该大型光学零件离子束抛光机具有结构简单、操控方便、可保证工作环境洁净度、提高加工精度和加工效率、使用寿命长的优点。

主权项

一种大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：包括真空抛光系统（4）、承载装置（3）、用于运输完成测量后的大口径工件（6）、并在运输过程中使大口径工件（6）的待加工面保持向下的翻转装置（1）以及用于承接翻转装置（1）所输送的大口径工件（6）、并将大口径工件（6）送至真空抛光系统（4）的主真空室（401）内的输送装置（2），所述承载装置（3）包括导轨（302）以及设于主真空室（401）内、并用于承接输送装置（2）所输送的大口径工件（6）的内机架（301），所述输送装置（2）设于导轨（302）上，并沿所述导轨（302）运动。