发明名称 |
半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种半导体装置及其制造方法,该半导体装置包括:晶体管,该晶体管包括:沟道形成区域、源极区域、漏极区域、栅极绝缘膜、以及栅电极;第一层间绝缘膜,形成在晶体管上;第一电极,形成在第一层间绝缘膜上,电连接到源极区域和漏极区域之一方;第二电极,形成在第一层间绝缘膜上,电连接到源极区域及漏极区域之另一方;第二层间绝缘膜,形成在第一层间绝缘膜、第一电极、以及第二电极上;第一布线,形成在第二层间绝缘膜上,电连接到第一电极;以及第二布线,形成在第二层间绝缘膜上,不电连接到第二电极,其中,在第二电极中形成有断开区域,第二布线形成为到达断开区域,以使第二布线不电连接到第二电极。 |
申请公布号 |
CN102136482B |
申请公布日期 |
2012.10.24 |
申请号 |
CN201110039859.X |
申请日期 |
2007.07.20 |
申请人 |
株式会社半导体能源研究所 |
发明人 |
秋元健吾 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/8246(2006.01)I;H01L27/105(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
吴丽丽 |
主权项 |
一种半导体装置,其特征在于,包括:晶体管,包括:沟道形成区域、源极区域、漏极区域、栅极绝缘膜、以及栅电极;第一层间绝缘膜,形成在所述晶体管上;第一电极,形成在所述第一层间绝缘膜上,并且电连接到所述源极区域和所述漏极区域之一方;第二电极,形成在所述第一层间绝缘膜上,并且电连接到所述源极区域及所述漏极区域之另一方;第二层间绝缘膜,形成在所述第一层间绝缘膜、所述第一电极、以及所述第二电极上;第一布线,形成在所述第二层间绝缘膜上,并且电连接到所述第一电极;以及第二布线,形成在所述第二层间绝缘膜上,并且不电连接到所述第二电极,其中,在所述第二电极中形成有断开区域,并且所述第二布线形成为到达所述断开区域,以使所述第二布线不电连接到所述第二电极。 |
地址 |
日本神奈川 |