微量湿度和有机气体集成光波导芯片传感器及制备方法

摘要

微量湿度和有机气体集成光波导芯片传感器及制备方法，属于测量湿度和气体浓度的传感器。本发明传感器由平面光波导A和E按EAEA～EAEAS排序交替覆盖在A上或衬底S上组成，表层E为感应层，A和E折射率分别为1.45、1.465～1.495或进一步为1.465～1.48。制备是用PECVD方法使掺杂SiO2的两个平面光波导E夹在纯SiO2平面光波导A之间构成玻璃薄膜芯片。本发明传感器厚度仅约15μm，灵敏度达ppm量级，体积小、高稳定、准直简便，成本低、工业化生产，可用于环境、医疗及工业领域的实时监测。

主权项

微量湿度和有机气体浓度集成干涉光波导芯片传感器，其特征是该传感器由低折射率平面光波导A和高折射率平面光波导E按EAEA排序交替覆盖的平面玻璃膜组成或按EAEAS排序交替覆盖在衬底S上的平面玻璃膜组成，其中，表层E为感应层，被测气体分子通过感应层进入传感器，而低折射率平面光波导A折射率为1.455~1.464，高折射率平面光波导E折射率为1.465~1.495； 所述的传感器的膜应力为50～80 MPa。