基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计

摘要

本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计，该加速度计（100）包括第一外部质量块（101）、设置在第一外部质量块（101）内部且与第一外部质量块（101）相连的第一平面谐振器（103a）、设置在第一外部质量块（101）右方且与第一外部质量块（101）相连的第二外部质量块（102）、设置在第二外部质量块（102）内部且与第二外部质量块（102）相连的第二平面谐振器（103b）；本发明结构简单、与平面工艺兼容，避免了常规谐振加速计中细长谐振梁的设计、加工等难点，同时降低了应力、温度对加速度计性能的影响，同时其平面式结构特征便于实现多轴集成。

主权项

一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计，其特征在于：该加速度计（100）包括第一外部质量块（101）、设置在第一外部质量块（101）内部且与第一外部质量块（101）相连的第一平面谐振器（103a）、设置在第一外部质量块（101）右方且与第一外部质量块（101）相连的第二外部质量块（102）、设置在第二外部质量块（102）内部且与第二外部质量块（102）相连的第二平面谐振器（103b）；该加速度计还包括设置在第一质量块（101）和第二质量块（102）外表面且分别与第一质量块（101）和第二质量块（102）连接的上扭杆（105a）和下扭杆（105b），上扭杆（105a）和下扭杆（105b）相对设置；还包括与上扭杆（105a）连接的第一锚点（104a）和与下扭杆（105b）连接的第二锚点（104b）；第一外部质量块(101）和第二外部质量块（102）外部分别通过上扭杆（105a）、下扭杆（105b）与第一锚点（104a）、第二锚点（104b）连接,使该加速度计悬置在玻璃基座（200）之上；第一质量块（101）和第二质量块（102）质量不等。