复合型真空规校准系统及方法

摘要

本发明公开的复合型真空规校准系统及方法，属于测量技术领域。本发明公开的复合型真空规校准系统包括机械泵、分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门、真空规、电容薄膜规、第三真空规、校准室、第一小孔、第二小孔、气源。本发明还公开了复合型真空规校准方法，采用一台满量程为1000Torr的电容薄膜规作为参考标准，采用直接比对法实现105～100Pa范围内的校准，采用膨胀法实现100～10-3Pa范围内的校准，采用动态流导法实现10-4～10-6Pa范围内的校准。本发明公开的复合型真空规校准系统具有成本低、重量和体积小、便携等特点。

主权项

复合型真空规校准装置，其特征在于：包括机械泵(1)、分子泵(3)、第一真空阀门(2)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(5)、第四真空阀门(9)、第五真空阀门(10)、第六真空阀门(12)、第七真空阀门(13)、真空规(7)、电容薄膜规(11)、第三真空规(14)、校准室(6)、第一小孔(8)、第二小孔(15)、气源(16)；机械泵(1)同时与第一真空阀门(2)相连接；第一真空阀门(2)另一端与分子泵(3)相连接；第二真空阀门(4)的一端与分子泵(3)连接，另一端通过小孔(15)与校准室(6)连接；第三真空阀门(5)与第一真空阀门(2)、分子泵(3)、第二真空阀门(4)并联；校准室(6)又分别与第一真空规(7)、第三真空规(14)、进气小孔(8)和第五真空阀门(10)相连接；进气小孔(8)的另一侧依次与第四真空阀门(9)、第七真空阀门(13)相连接；第五真空阀门(10)的另一侧与电容薄膜规(11)相连接；用管路连通第四真空阀门(9)、第五真空阀门(10)，使校准室(6)、进气小孔(8)、第四真空阀门(9)、第五真空阀门(10)形成一个回路，管路上设置第六真空阀门(12)。