一种电热式微镜的精确开环控制系统

摘要

本实用新型公布了一种电热式微镜的精确开环控制系统，包括激光光源、第一分光镜、第二分光镜、微镜装置、屏幕和位置敏感传感器；其特征在于：所述微镜装置具有精确开环控制电路，所述精确开环控制电路包括处理器，输出数模转换模块，信号处理模块，采样模块和安全保护模块。一种电热式微镜的精确开环控制方法，包括系统参数的标定和开环控制步骤。本实用新型无需在微镜工艺和封装上做任何加工改动，成本低，容易实现。光路元件较少，实现简单，实用性强，一次标定参数后，可针对同一版微镜使用。外围控制电路简单，容易重复实现。开环系统内包含闭环控制，大大优化系统的精确度，可精确控制微镜的偏转角度。

主权项

一种电热式微镜的精确开环控制系统，包括激光光源、第一分光镜、第二分光镜、微镜装置、屏幕和位置敏感传感器；激光光束通过第一分光镜达到微镜镜面上，微镜镜面反射的光束通过第一分光镜达到第二分光镜上，第二分光镜将光束分成两束，一束打在位置敏感传感器上，一束打在坐标屏幕上；其特征在于：所述微镜装置具有精确开环控制电路，所述精确开环控制电路包括中央处理器，输出数模转换模块，信号处理模块，采样模块和安全保护模块，其中所述采样模块包括采样电阻和模数转化模块，通过采样电阻实时采集微镜装置各个驱动臂的驱动电压转化成数字信号传送给所述中央处理器；所述中央处理器用于接收所述采样模块传送的实际驱动臂的驱动电压变化信号和微镜镜面偏转角度变化值；所述输出数模转换模块是将中央处理器的输出的数字信息转换成模拟电压信号；所述信号处理模块用于将所述输出数模转换模块输出的模拟电压信号转换成微镜驱动电压；所述安全保护模块是防止上电与掉电瞬间浪涌信号对微镜的冲击。