| 主权项 |
一种两级罩盒开关器，其用于开启包覆并承载一光微影术光罩于其中的一罩盒，该罩盒包括：a. 一外RSP罩盒，其具有：i.一RSP罩盒门，其适于用于容纳一金属盒，该金属盒适用于容纳并包覆一裸光罩；以及ii.一RSP罩盒盖，其与该RSP罩盒门啮合并锁紧，从而将该金属盒包覆在该密封的外RSP罩盒内，b.该金属盒包括：i.一金属盒底座，其适用于容纳该裸光罩；以及ii.一金属盒盖，其与具有容纳于其上的该裸光罩之该金属盒底座啮合，从而将该裸光罩包覆在该密封外RSP罩盒内的该金属盒中，该两级罩盒开关器包含：a.一外RSP罩盒开关器，其包括：i.一RSP闩锁机构，用于将该密封的外RSP罩盒锁在该外RSP罩盒开关器上的适当位置；以及ii.一RSP锁紧/解开机构，用于解开该外RSP罩盒，因此该外RSP罩盒开关器能够将该RSP罩盒盖与该RSP罩盒门分离；在该RSP锁紧/解开机构将该外RSP罩盒解开之后，该外RSP罩盒开启机构将该RSP罩盒门与该RSP罩盒盖分离，从而露出该金属盒；b.一金属盒开关器，其具有至少两个臂用于容纳及支撑该金属盒盖，同时该两级罩盒开关器将该金属盒底座与该金属盒盖分离，从而露出在该金属盒底座上所装载的裸光罩。 |
