具有用于应力隔离的锚的MEMS 装置

摘要

一种MEMS装置(20)包括验证质块(32)，其耦接到不可移动结构(30)并且围绕所述不可移动结构。不可移动结构(30)包括从该结构(30)的主体(34)向外延伸的固定指(36，38)。验证质块(32)包括可移动指(60)，其每一都设置在一对(62)固定指(36，38)之间。主体(34)的区域(32)耦接到下面的基板(24)，而验证质块(32)和不可移动结构(30)的其余部分悬置在基板(24)上方，以将MEMS装置(20)与封装应力极大地隔离开。另外，MEMS装置(20)包括隔离沟槽(80)和互谅(46，50，64)，从而将固定指(36)、固定指(38)、可移动指(60)彼此电隔离，以形成差分装置结构。

主权项

微机电系统MEMS装置，包括：基板；第一结构，包括主体和从所述主体的外周界向外延伸的固定指，其中所述主体的中央区域耦接到所述基板，并且所述第一结构的其余部分悬置在所述基板上；框架结构，其围绕所述第一结构，并且悬置在所述基板上，所述框架结构可移动地耦接到所述第一结构，所述框架结构包括从所述框架结构的内周界向内延伸的可移动指，所述可移动指设置在一对所述固定指之间；锚元件，其延伸穿过所述第一结构的所述主体，并且耦接到所述基板；以及信号迹线，其将所述框架结构电连接到所述锚元件，并且所述框架结构、所述信号迹线、所述锚元件被与所述第一结构电隔离。