激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，其具有：卡盘工作台；照射激光光束的激光光束照射构件；及对卡盘工作台和激光光束照射构件相对进行加工进给的加工进给构件，激光光束照射构件具有：激光光束振荡部；将激光光束分割为第一和第二激光光束的分光器；配置在激光光束振荡构件和分光器间的转动λ/2波片；配置在引导第一激光光束的第一光路上的聚光透镜；配置在引导第二激光光束的第二光路上的第一反射镜；配置在分光器和第一反射镜间的第一λ/4波片；配置在第三光路上的第二反射镜，经第二光路而返回到分光器后的第二激光光束被分割到第三光路；配置在分光器和第二反射镜间的第二λ/4波片；及配置在分光器和第二λ/4波片之间的柱面透镜。

主权项

一种激光加工装置，其具有：卡盘工作台，其保持被加工物；激光光束照射构件，其向保持在上述卡盘工作台上的被加工物照射激光光束；以及对上述卡盘工作台和上述激光光束照射构件相对地进行加工进给的加工进给构件，其特征在于，上述激光光束照射构件具有：激光光束振荡构件，其振荡激光光束；分光器，其将由上述激光光束振荡构件振荡出的激光光束，分割为具有第一偏光面的第一激光光束和具有与该第一偏光面正交的第二偏光面的第二激光光束；转动λ/2波片，其配置在上述激光光束振荡构件和上述分光器之间；聚光透镜，其配置在引导由上述分光器分割而成的上述第一激光光束的第一光路上；第一反射镜，其配置在引导由上述分光器分割而成的上述第二激光光束的第二光路上，用于使上述第二激光光束返回上述分光器；第一λ/4波片，其配置在上述分光器和上述第一反射镜之间；第二反射镜，其配置在第三光路上，经上述第二光路而返回到上述分光器后的上述第二激光光束被分割到上述第三光路上，该第二反射镜用于使分割到上述第三光路上的上述第二激光光束返回上述分光器；第二λ/4波片，其配置在上述分光器和上述第二反射镜之间；以及柱面透镜，其配置在上述分光器和上述第二λ/4波片之间，经上述第三光路而返回到上述分光器后的上述第二激光光束经上述第一光路而被导向上述聚光透镜。